Innova高精度尺寸光学测量机
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Micro-Metric公司开发的Innova光学测量系统可用于半导体、光电器件和微机电系统(MEMS)装置等微小尺寸的点到点(PTP)和视场(FOV)非接触式测量。视场测量的最小尺寸为0.5µm,测量精度可达0.010µm(10nm);除可手动进行单点测量外,还可通过编程进行全自动逐点顺序测量。仪器采用了移动行程为(200×200)mm(X,Y)的高精密工作台和能进行精密深度测量的共焦显微镜,并可对亮度转换进行亚象素级插补,从而可实现亚微米线宽的测量。通过分析被测物体的边缘锐度,显微镜可在最佳焦点处实现自动聚焦定位。
本文作者:张宪
原载:《工具展望》2007年第4期
上载于:2008-10-5 13:12:56

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